NANOMEFOS : Contactloze meetmachine voor freeform optiek

Door toepassing van asferische en freeform optiek in optische systemen kan de optische kwaliteit worden verbeterd, terwijl de afmetingen, massa en aantal benodigde componenten sterk kunnen worden gereduceerd. De NANOMEFOS meetmachine, ontwikkeld door TNO, TU/e en VSL, is een unieke meetinstrument voor het meten van de absolute vorm van asferische en freeform optische oppervlakken (zowel spiegels als lenzen).

Get the Flash Player to see this player.

Het meten van een freeform oppervlak op NANOMEFOS

Toepassing van asferische en freeform optiek heeft vele voordelen voor high-end optische systemen voor bijvoorbeeld ruimtevaart, astronomie en lithografie. Binnen TNO wordt onderzoek gedaan naar het ontwerpen, fabriceren en meten van deze oppervlakken. In combinatie met diamantdraaien en correctief polijsten stelt deze machine TNO in staat om zeer complexe en grote optische oppervlakken met nanometer nauwkeurigheid te fabriceren. Deze oppervlakken worden gefabriceerd voor eigen projecten en voor derden. Daarnaast worden metingen voor klanten uitgevoerd.
Eigenschappen van deze machine zijn:

  • Universeel meten van asferische en freeform oppervlakken
  • Meetvolume Ø500 x 100 mm
  • Zowel convex als concaaf, tot 45°
  • Contactloos
  • Meetonzekerheid < 15 nm rms
  • Snel (minuten voor > 500k punten)

Machine principe

Het te meten object wordt op een continu roterende luchtgelagerde spil geplaatst waar een speciaal ontwikkelde optische taster overheen wordt bewogen. De optische taster maakt hoge scansnelheden mogelijk (tot 1.5 m/s) en de afwijking van rotatiesymmetrie van het object valt binnen het grote meetbereik van 5 mm van deze sensor. Het hoogte profiel van het oppervlak wordt zo met cirkelvormige sporen of een continue spiraal gemeten. De positie van de taster wordt middels een interferometrie systeem gemeten ten opzichte van een Silicium Carbide metrologie frame. Met capacitieve sensoren wordt ook de positie van de rotatietafel gemeten ten opzichte van dit referentie frame. Met deze korte meetlus kan in de dataprocessing worden gecompenseerd voor zowel statische als dynamische positioneerfouten, waardoor een reproduceerbaarheid van enkele nanometers rms behaald wordt.

Typisch meetresultaat van sterk gekromde asfeer
Typisch meetresultaat van sterk gekromde asfeer

Metingen laten doen op NANOMEFOS?

NANOMEFOS is volledig gekalibreerd en operationeel. Asferische en freeform oppervlakken worden gemeten met custom software, waarbij alle meetparameters optimaal aan het te meten oppervlak kunnen worden aangepast. Resultaten worden grafisch weergegeven (3D), in line-scans en in Zernike componenten. Data kan in diverse formats worden geëxporteerd en een uitgebreid meetrapport wordt uiteraard gemaakt. Door de universele opzet van de machine vergt dit slechts geringe voorbereidingen en metingen kunnen zeer snel worden uitgevoerd.

Wilt u meer informatie over NANOMEFOS?

Neem contact op met Bram Hardenbol

CONTACT OPNEMEN
Contactpersoon

Ing. A.G. (Bram) Hardenbol
088 866 63 68
Contact opnemen

Niet gevonden wat u zocht?