Ons werk

Metrologie

Metrologie is de wetenschap van metingen, nauwkeurigheid en precisie. Het is een kerndeskundigheid van TNO. In de ruimtevaart en in industrieën waarin nanotechnologie en microelektronica een rol spelen, vertrouwen klanten op onze vakkundigheid bij het vaststellen van afmetingen en aantallen van hun kritische componenten.

De talrijke productietechnieken en procedures in de markt voor geavanceerde apparatuur vereisen uiterst nauwkeurige meting van de fysieke dimensies en elektrische eigenschappen van geproduceerde structuren. In het bijzonder op het gebied van de productie van halfgeleiders is metrologie een belangrijk aspect voor gereedschappen met een hoge resolutie, die nodig zijn om de steeds kleiner wordende elementen in een chip te meten.

Er zijn steeds nauwkeuriger instrumenten nodig om twee- en driedimensionale structuren te meten die kleiner zijn dan 100 nm. Hoogte-breedte verhoudingen, lijnhoogten, wandhoeken, lijnruwheid en kanaaldieptes moeten betrouwbaar en snel worden gemeten om vast te stellen of ze voldoen aan de strenge specificaties. Hierbij helpen we onze klanten bij het ontwikkelen van uiterst precieze apparatuur van de volgende generatie. Ons onderzoek omvat het gehele toepassingsgebied van de metrologie: verzamelen, evalueren en kwantificeren van gegevens. Het gaat steeds vaker om de beschikbaarheid van gegevens voor terugkoppeling, nodig voor het opsporen van basisfouten en het versnellen van de procesrespons.

Vakkundigheid

In de loop der jaren hebben we door onze inspanningen op het gebied van onderzoek en ontwikkeling een aanzienlijke reputatie opgebouwd in de ontwikkeling van metrologische apparatuur voor een grote verscheidenheid aan toepassingen.
De faciliteiten van TNO omvatten:

  • scanning-elektronenmicroscopen aangepast voor metrologische metingen
  • con-focale laser scanning-microscopen
  • meet-algoritmen voor lijnrandruwheid/lijnbreedtedruwheid, interferometrische testbanken
  • profilometers
  • een dode ruimte voor het uitsluiten van alle externe invloeden, van zowel temperatuur, trillingen, magnetisme als atmosfeer
  • uitgebreide laboratoria met omstandigheden die uiteenlopen van atmosferische omstandigheden en clean-room omstandigheden tot die waarin toepassingen onder ultrahoog vacuüm mogelijk zijn.

Zie ook

Wij gebruiken anonieme cookies om het gebruik van onze site te verbeteren.