Inspectie - controleren of verbindingen en structuren in chips op de bedoelde plaatsen zijn gerealiseerd - en testen - controleren of chips de gewenste functie uitvoeren - zijn de operationele aspecten van rendementbeheer en kwaliteitsbeheersing. Zij leveren een bijdrage aan de winstgevendheid van elke IC-fabrikant. Kwaliteitsbeheersing door inspectie ondersteunt rechtstreeks de andere factoren van kosten, productiviteit en tijdige levering.

TNO levert aanzienlijke inspanningen op het gebied van onderzoek en ontwikkeling en anticipeert op de marktbehoefte die ontstaat door de steeds strengere eisen die gesteld worden aan inspectie van halfgeleiders. Wat als defect wordt beschouwd, hangt volledig af van de toepassing. Maar in alle gevallen wordt de tolerantiemarge steeds kleiner terwijl de druk op onze klanten met betrekking tot betrouwbaarheid, gevoeligheid, omloopsnelheid en gereedschapkosten toeneemt. Onze onderzoeksactiviteiten omvatten het geheel van detectie van fysieke defecten, van deeltjes tot defecten ontstaan door het proces, op ondergronden met of zonder patroon, zoals wafels, maskers, printplaten en vlakke beeldschermen. De uitdaging is om realiseerbare gereedschapsconcepten en prototypen te ontwikkelen en onze klanten te helpen en bestaande producten te laten voldoen aan de steeds strengere specificaties voor de nieuwe generatie IC's.

Vakkundigheid

TNO heeft de afgelopen jaren aanzienlijke deskundigheid opgebouwd op het gebied van het opsporen van defecten. We maken gebruik van technieken zoals scatterometrisch, ellipsometrisch, spectroscopisch en fluorescent filteren. Dit heeft geresulteerd in verbetering van resolutie en contrast, slimme verlichtingsconcepten, selectieve ruisbeperking en verbetering van het gegevenspad. Een extra kracht is onze mogelijkheid om onze vakkundigheid doeltreffend in te zetten in halfgeleiderlithografie, metrologie, optica en toegepaste lasertechnologieën voor toepassing op het gebied van defecteninspectie. We kunnen terugvallen op ruime faciliteiten zoals de eigen voorzieningen voor optisch coaten, productie van prototypen, laserlaboratoria voor alle UV- en sub-UV-golflengten en elektronisch-optische testbanken.

Wij gebruiken anonieme cookies om het gebruik van onze site te verbeteren.