nieuws

Partnerschap tussen TNO en USHIO voor ontwikkeling van de nieuwste generatie lithografische componenten

Gericht op verbeteren levensduur van componenten om aan de strengste industriële eisen te voldoen • 15 feb 2016

TNO en de Japanse lichtbronspecialist USHIO gaan een strategisch partnerschap aan dat is gericht op de ontwikkeling van extreem ultraviolet (EUV)-lithografie voor de productie van de volgende generatie halfgeleiders. De overeenkomst daartoe is deze week ondertekend.

Ms. Marring, CFO van TNO en de heer Matsubara, CEO van Ushio Europe B.V.

TNO en USHIO bouwen samen in Delft een nieuwe experimentele belichtings- en analyse faciliteit om door EUV-straling veroorzaakte effecten op EUV-optica en maskers experimenteel te kunnen onderzoeken. De nieuwe faciliteit gaat EBL2 heten en heeft als gemeenschappelijk doel inzicht te krijgen in de contaminatie-effecten op oppervlakken bij extreme uv-straling en onder realistische omstandigheden zoals die worden voorzien in de roadmap voor nanolithografische systemen. Hiermee kunnen TNO en USHIO de ontwikkeling van systemen, maskers en membranen (‘pellicles’) versnellen. De EUV-bron van USHIO zal gepulseerd EUV aanbieden in een goed gecontroleerde omgeving die dezelfde omstandigheden biedt als lithografische systemen. Het transport en het hanteren van de monsters wordt geautomatiseerd en de mate van extreme reinheid zal voldoen aan de meest actuele normen voor de productie van halfgeleiders met EUV.

De wedloop om steeds kleinere verbindingen tussen chips blijft zich ontwikkelen. Dit vraagt om een grondig inzicht in, en een correcte toepassing van, de fysica en chemie van de interactie tussen materialen en fotonen. Het partnerschap tussen USHIO en TNO en de gezamenlijke unieke, state-of-the-art onderzoeksfaciliteit is bedoeld om het gedrag van componenten en materialen voor de verwerking van halfgeleiders onder EUV-licht te karakteriseren en te analyseren.

“De basis voor dit initiatief is een strategisch samenwerkingsverband tussen TNO en USHIO”, aldus dhr. Matsubara, CEO van Ushio Europe B.V. “Dit gezamenlijke project bouwt voort op de bewezen technische expertise op het gebied van de ontwikkeling en productie van EUV-bronnen van USHIO enerzijds en de ervaring en het innoverend vermogen van TNO op het gebied van contaminatiebeheersing op nanoschaal anderzijds, met als doel oplossingen te ontwikkelen die voldoen aan de uitdagingen van morgen.”

“Binnen de samenwerking tussen TNO en USHIO vullen onze sterke punten en expertise die relevant zijn voor de ontwikkeling van de volgende generatie halfgeleiderapparatuur elkaar aan”, aldus Arnold Stokking, managing director van TNO Industrie. “Het is een eer en een genoegen om een toonaangevende speler binnen de industrie op het gebied van technologie voor de fabricage van halfgeleiderapparatuur als partner te hebben die de programma’s van het International Center for Contamination Control (ICCC) van TNO versterkt en de ontwikkeling en de prestaties van apparatuur voor de halfgeleiderindustrie versnelt.”

Over USHIO

Het in 1964 opgerichte USHIO INC. (TOKYO: 6925) is een toonaangevend producent van lichtbronnen, zoals lampen, lasers en leds, die een breed spectrum uitzenden, van ultraviolet tot onzichtbaar infrarood, plus optische apparatuur en producten voor de filmindustrie die gebruikmaken van dergelijke lichtbronnen. Daarnaast produceert het bedrijf elektronica (waaronder halfgeleiders, flatscreens en elektronische onderdelen) en beeldapparatuur (waaronder digitale projectors en verlichting). Veel van de producten van het bedrijf hebben een groot marktaandeel. Sinds enkele jaren is USHIO ook actief op het gebied van de levenswetenschappen, waaronder de geneeskunde en de milieuwetenschap.

Over TNO

TNO is een onafhankelijke innovatie-organisatie. TNO verbindt mensen en kennis met elkaar om innovatie te creëren die een duurzame bijdrage levert aan het concurrentievermogen van bedrijven en het maatschappelijk welzijn. Voor de 2800 professionals die werkzaam zijn bij TNO is dat hun dagelijkse drijfveer.

TNO gelooft in het gezamenlijk creëren van economische en maatschappelijke waarde. Doelgericht innoveren is waar TNO voor staat. TNO ontwikkelt kennis niet om de kennis, maar voor praktische toepassing. TNO werkt samen met partners en richt zich op vijf transities die in overleg met stakeholders zijn bepaald.

Het International Center for Contamination Control (ICCC) van TNO is speciaal opgezet voor onderzoek naar en ontwikkeling van contaminatiebeheersing op nanometerschaal voor partners uit het bedrijfsleven, gesteund door een breed scala aan experimenteerfaciliteiten.

Zie ook
Kennis

TNO International Centre for Contamination Control (ICCC)

Volgens de Wet van Moore verdubbelt het aantal transistors op het oppervlak van chips bijna elk jaar. De behoefte aan de bewerking van kleinere oppervlakken neemt toe. Bij deze ontwikkelingen is de vervuilingsbeheersing... Lees verder
Roadmap

Semiconductor Equipment: innovations for chip producing industry

Every day, equipment manufacturers strive to make chips smaller and more powerful. And every day, they face challenges related to creating those chips in the cleanest and most cost-efficient way possible.... Lees verder
Roadmap

Flexible & Free-form Products: new materials and production processes

In 2025 smart, personalized and autonomous devices will form 'the internet of things' and solar cells will make a significant contribution to the world's energy needs. With its excellence in Large-Area... Lees verder
Thema

Industry: ‘It’s our job to aid industry to innovate’

In the Netherlands, the importance of the theme of industry is experienced ever more strongly. Rightly so, according to theme director Arnold Stokking. ‘Industry is a factor which determines prosperity,... Lees verder
Nieuws
Contact

Dr. Rogier Verberk

  • quantumcomputer
  • kwantumcomputer
  • QuTech
  • maskerloze lithografie
E-mail

Mediavragen?

Wij gebruiken anonieme cookies om het gebruik van onze site te verbeteren.