Thin Film Technology

THIN FILM TECHNOLOGY (TFT) heeft een wereldwijde reputatie op het gebied van dunne film depositie processen. Deze dunne film depositie is een enabling technology voor vele grote oppervlakte elektronica applicaties, zoals dunne film zonnecellen, (O)LED lighting en (O)LED displays.

Selenisatie-oven voor CIGS zonnecellen, deel van de Solliance R&D productielijn

De missie van TFT is de ontwikkeling van innovatieve opschaalbare depositietechnologie voor de productie van large area applicaties. Hierbij ligt op dit moment de focus met name op de productie van dunne film zonnecel productie equipment.
TFT is een belangrijke medeoprichter van het Holst Centre in 2005 en het Solliance initiatief (samenwerkingsverband tussen IMEC, ECN, TU/e en TNO) in 2010. Binnen het Solliance initiatief is TFT verantwoordelijk voor de ontwikkeling van CIGS gebaseerde dunne film PV productieconcepten. TNO heeft hiervoor een referentie R&D CIGS productielijn voor 30x30 cm2 cellen, die bestaat uit Mo sputtering, CIGS co-evaporatie, nat-chemische depositie van de buffer laag en een gesputterde ZnO:Al TCO. TFT ontwikkelt met industriële partners materialen, processen en de volgende generatie productie equipment voor CIGS zonnecelen die resulteren in gereduceerde cost-of-ownership.

Onze expertise

TFT werkt aan procesontwikkeling van de volgende technologieën, die o.a. worden gebruikt voor vernieuwende stappen in het CIGS productieproces:

  • Spatial atomic layer deposition (ALD) --> CdS-vrije bufferlaag, TCO, barrièrelaag
  • Atmospheric pressure (plasma enhanced) chemical vapor deposition (AP(PE)-CVD) --> TCO
  • Wet-chemical deposition and patterning --> CIG, bufferlaag, grid
  • Selenisatie --> actieve CIGS laag
  • Light management --> TCO, nanostructurering

De combinatie van bovenstaande technologieën maakt een unieke processing aanpak mogelijk, waarin dedicated oplossingen in termen van cost of ownership en proces efficiëntie kunnen worden gevonden. De interne samenwerking met Equipment for Additive Manufacturing, Responsive Materials and Coatings en Materials for Integrated Products stelt ons in staat industriële schaal oplossingen te ontwikkelen, die kunnen worden overgedragen naar nieuwe equipment voor PV en Lighting om de productie van betrouwbare producten op grote schaal mogelijk te maken.

Toepassingen en impact

R2R Spatial ALD reactor voor hoge throughput flexibele toepassingen op folie
  • TNO heeft Spatial Atomic Layer Deposition (ALD) ontwikkeld, een baanbrekende depositietechnologie waarmee atomaire lagen met hoge snelheid (1 nm/s) kunnen worden aangebracht. Het spin-off bedrijf SolayTec vercommercialiseert momenteel deze technologie voor het aanbrengen van een dunne passivatielaag op silicium zonnecellen. TNO heeft inmiddels een R2R Spatial-ALD machine ontwikkeld voor hoge throughput flexibele toepassingen op folie.
  • Transparent conductive oxides (TCO's) worden gebruikt in zonnecellen en andere dunne film devices. TFT heeft vele technologieën voor depositie van TCO's: APCVD, PECVD, PVD, Spatial ALD, sol-gel en elektrodepositie. TNO heeft technologie voor APCVD van SnO2:F ontwikkeld in samenwerking met de TU/e, die is gebruikt door Helianthos in dunne film amorf silicium zonnecellen. In diverse projecten voor kostenreductie van CIGS zonnecelproductie is het APCVD proces van ZnO:Al TCO's ontwikkeld als alternatief voor de momenteel gebruikte vacuüm technologieën.
Ons werk

Materialen voor de hightechindustrie

De hightechindustrie richt zich steeds meer op miniaturisatie, complex gevormde producten en multifunctionele materialen. Hiervoor is innovatie nodig op het gebied van productie en verwerking van materialen... Lees verder
Expertise

Equipment for Additive Manufacturing (EFAM)

EFAM ontwikkelt samen met kennispartners en industriële marktpartijen innovatieve fabricage processen en bijbehorende hoge-precisie machineconcepten voor het deponeren en patroneren van functionele materialen.... Lees verder
Nieuws

Onderzoek TNO/Solliance en TU Delft geeft inzicht in lange-termijn stabiliteit van zonnecellen

02 oktober 2015
Er is nog (te) weinig bekend over de stabiliteit van flexibele zonnepanelen op de lange termijn. Solliance/TNO-onderzoekster Mirjam Theelen heeft daarom een opstelling gerealiseerd die zonnecellen versneld... Lees verder

Technical Sciences

Wij gebruiken anonieme cookies om het gebruik van onze site te verbeteren.