ATOM - Advanced outgassing setup
- Categorie:
- Systeem
- Merk:
- Demaco
- Type:
- Reference nr.: TNO TPD
Beschrijving
Het Advanced Tool for Outgassing Measurements (ATOM) is een speciaal door TNO ontwikkeld systeem dat onder ultrahoog vacuüm (UHV) werkt. Het is speciaal ontworpen om de uitgassnelheden van verschillende materialen met hoge precisie te beoordelen en te kwantificeren.
Technische details
ATOM kan uitgassnelheden meten van slechts 1 × 10-¹¹ mbar-L-s-¹-cm-². Het systeem is geschikt voor monsters tot 120 × 180 mm².
Aanvullende technieken
Een QMS422 quadrupool‑massaspectrometer, samen met een Bayard–Alpert vacuümmeter met hoge nauwkeurigheid, wordt gebruikt om de uitgassingsmetingen uit te voeren.
Toepassingen
ATOM wordt gebruikt om materialen te evalueren die bedoeld zijn voor ultrazuivere vacuümomgevingen, zoals die in EUV-lithografiesystemen en andere op UHV gebaseerde toepassingen, waar zelfs een minimale uitgassing de prestaties of verontreinigingsniveaus kan beïnvloeden.