System lifetime en productiviteit (verontreinigingsbeheersing)

TNO is gespecialiseerd in verontreinigingsbeheersing voor EUV-lithografie. TNO is al 20 jaar de preferred partner van ASML en Carl Zeiss bij de ontwikkeling van modules, testapparatuur en strategieën voor de verontreinigingsbeheersing van EUV-lithografieapparatuur.

TNO breidde haar unieke infrastructuur voor R&D op het gebied van verontreinigingsbeheersing uit, inclusief oppervlakteanalyse-apparatuur en gas- en vacuüminstallaties met behulp van haar eigen (tweede) EUV-lichtbundellijn. Een unieke voorziening die operationeel werd in 2018 en ingezet wordt voor onderzoek naar materialen zoals optica, reticles en pellicles, en voor iedere partij in het EUV-lithografieveld: leveranciers van materialen, eindgebruikers (IDM's - Integrated Direct Meterings) en apparatuurontwikkelaars (OEM's- original equipment manufacturers). De flow- en thermisch-regelspecialisten van TNO hebben meer dan 10 jaar ervaring met tweefasige stroomregeling voor de meest veeleisende toepassing: immersielithografie.

Nieuws

TNO bij Holst Centre lanceert 3D batterij spinoff LionVolt

03 maart 2021
TNO hevelt haar 3D batterij activiteiten over uit Holst Centre naar een spinoff genaamd LionVolt BV. Door LionVolt komt de ontwikkeling van een revolutionaire vaste-stof batterij in een hogere versnelling.... Lees verder
Nieuws

Relement vestigt zich op Green Chemistry Campus

02 maart 2021
TNO’s Biorizon spin-off Relement vestigt zich op de Green Chemistry Campus. Het bedrijf gaat op commerciële schaal bio-aromaten produceren en verkopen voor toepassing in onder meer smeermiddelen en coatings.... Lees verder
Nieuws

Jaaroverzicht 2020: TNO in de media

24 december 2020
Doelgericht innoveren, dat is waar TNO voor staat. Dat doen we niet alleen, maar samen met bedrijven, overheden en tal van organisaties. Lees verder

Semiconductor Equipment

VOLG TNO OP SOCIAL MEDIA

blijf op de hoogte van ons laatste nieuws, vacatures en activiteiten

Op TNO.nl maken we gebruik van cookies. De daarin opgeslagen informatie kan bij een volgend bezoek weer naar onze servers teruggestuurd  worden.