NanoNed, Nederland voorop in nanotechnologie

Als onderdeel van het Nederlandse nationale netwerk op het gebied van nanotechnologie, leidt TNO een vlaggenschip van het NanoNed-programma en biedt het onderdak aan het NanoLab Nanoengineering Laboratorium. NanoNed, het onderzoeksinitiatief voor nanotechnologie in Nederland, is opgezet door negen industriële en wetenschappelijke partners waaronder Philips en TNO. Het brengt de Nederlandse deskundigheid op het gebied van nanotechnologie en ondersteunende technologie samen in een nationaal netwerk. Het totale budget van het NanoNed-programma bedraagt 235 miljoen euro, gefinancierd door het Nederlandse ministerie van Economische Zaken. Het NanoNed-programma omvat elf onafhankelijke programma's of vlaggenschepen. Elk daarvan gaat uit van regionale onderzoekskracht en industriële relevantie.

Het vlaggenschip nano-instrumentatie richt zich op het ontwikkelen van wetenschappelijke en industriële apparatuur die kan werken met nanometerprecisie. TNO leidt dit vlaggenschip en werkt met de Technische Universiteit Delft (en anderen) aan instrumentatie voor nanotechnologie en onderzoek. Logischerwijze biedt TNO ook onderdak aan NanoLab NL, een investering van 85 miljoen euro in de aller modernste infrastructuur voor nanotechnologie. NanoLab NL is bedoeld voor het NanoNed-network en het is toegankelijk voor alle Nederlandse onderzoekers. De uitdaging voor het vlaggenschip Nano-instrumentatie is om bij te dragen aan het oplossen van de instrumentatieproblemen die een belemmering vormen voor de productie van apparaten kleiner dan 20 nm.

TNO richt zich op drie onderwerpen:

• Genereren van patronen kleiner dan 20 nm
  Fotolithografie met (diep) UV is de algemeen aanvaarde methode voor massaproductie van nanostructuren tot 100 nm of zelfs nog minder. TNO ontwikkelt optische methoden en geladen deeltjestechnologie verder tot minder dan 20 nm.
• Geavanceerde metrologie
  Om productie mogelijk te maken, is metrologie op de schaal van minder dan 20 nm vereist. TNO is bezig met het verbeteren van de systeemstabiliteit, isolatie en mechanische precisie van metrologische instrumenten voor extreme omgevingen zoals ultrahoog vacuüm en extreem lage temperaturen. Hierdoor zullen superieure sensor-ijking en precisiemechanica mogelijk worden.
• Vervuiling tegengaan
  In de nanotechnologie gelden extreem hoge eisen met betrekking tot het tegengaan van vervuiling met deeltjes. Voor het tegengaan van vervuiling ontwikkelt TNO technologieën die onderzoekers in staat stellen de oorzaak van vervuiling met deeltjes te analyseren en deze te detecteren, classificeren en verwijderen.