Nieuwe generatie lithografie

Grote innovaties op het gebied van lithografie, zoals bijvoorbeeld EUV-technologie en 450 mm wafers, leveren zowel nieuwe uitdagingen als nieuwe kansen op. Bedrijven in deze branche vertrouwen op TNO om deze innovaties zo snel mogelijk te implementeren. De fabrikanten van de apparatuur waarmee de nieuwste chips kunnen worden geproduceerd, hebben nu meer dan ooit behoefte aan de expertise en ervaring van TNO.

De voordelen van lithografie met extreem ultraviolet licht (EUVL) zijn duidelijk. Met EUVL is niet alleen een hogere resolutie mogelijk, maar het biedt ook meer vrijheid in procesinstellingen en chip ontwerp, met beter presterende chips als resultaat. Daarnaast levert EUVL aanzienlijke kostenbesparingen op in vergelijking met immersietechnieken met drievoudige belichting. Toonaangevende spelers in de industrie zijn al bezig deze veelbelovende innovatie te verkennen en onderzoeken de mogelijkheden voor hun specifieke uitdagingen. Experts werken tevens aan nieuwe generatie lithografische processen, zoals maskerloze lithografie, e-beam en Direct Write-lithografie voor nieuwe product-marktcombinaties. De transitie naar wafers van 450 mm diameter is ook een uitdaging. Voor de grotere wafers zijn nieuwe processen nodig, waarbij het beheersen van de apparatuurskosten van essentieel belang is. De benodigde apparatuur moet even nauwkeurig en betrouwbaar zijn als de chips die ermee worden gemaakt.

Benadering op systeemniveau

Door directe samenwerking met machinefabrikanten wordt de kennis van apparatuur- en procesontwikkeling van TNO ingezet om modules te verbeteren en de procesefficiëntie te vergroten. TNO beschikt over kennis van het gehele systeem en is daardoor als geen ander in staat om de uitdagingen van bedrijven op modulair niveau aan te pakken en op te lossen. Zo hebben wij bijvoorbeeld de aansturing van machines verbeterd door te werken aan sensorstuursystemen die nauwkeuriger zijn dan voorheen mogelijk was. TNO vertrouwt in hoge mate op haar (kennis-)infrastructuur en ontwikkelt oplossingen op maat voor apparatuur en zorgt voor experimentele validatie. Onze prototypes worden bedacht, gemaakt, gekwalificeerd en vervolgens geleverd aan fabrikanten van apparatuur, die onze oplossingen daarna op grotere schaal kunnen produceren. Hoewel deze oplossingen voornamelijk modulair zijn, hebben ze een significant effect op het gehele productieproces, waardoor de doelstellingen van bedrijven dichterbij komen.

Een schakel in de keten

TNO heeft deze expertise opgebouwd rondom een specifieke positie in het productieproces. TNO werkt samen met het mkb en grote moduleleveranciers aan oplossingen die toegepast worden in betrouwbare commerciële onderdelen. De partners van TNO richten zich op de productie van betrouwbare, kostenefficiënte replica's van onze prototypes om te garanderen dat elke kopie even effectief is als ons oorspronkelijke ontwerp. Door dit soort samenwerkingen en geïntegreerde productteams bouwt TNO verder aan praktische oplossingen voor de industrie. Fabrikanten die hun apparatuur snel en significant willen verbeteren, vertrouwen op TNO om de moeilijkste uitdagingen het hoofd te bieden.

Nieuws

Drie TNO-aanvragen Toekomstfonds gehonoreerd

09 juni 2016
Vandaag heeft het ministerie van Economische Zaken de toekenningen voor faciliteiten vanuit het Toekomstfonds bekend gemaakt. Voor alle drie door TNO voorgestelde investeringen zijn leningen beschikbaar... Lees verder

Wij gebruiken anonieme cookies om het gebruik van onze site te verbeteren.