TNO en Ushio, een stabiele samenwerking in de verdere ontwikkeling van EUV technologie

De samenwerking, die inmiddels meer dan een decennium beslaat, richt zich op de betrouwbare werking en verdere ontwikkeling van EUV capaciteiten. Een recent bezoek van het senior management van Ushio aan TNO in Delft bood de gelegenheid om de voortgang te evalueren, langetermijnontwikkelingen te bespreken en toekomstige samenwerkingsmogelijkheden te verkennen binnen het zich ontwikkelende EUV domein.

Een unieke en steeds hechtere EUV samenwerking

Sinds 2015 werken TNO en Ushio samen aan de totstandkoming en voortdurende doorontwikkeling van de EBL2 faciliteit op de high tech onderzoeks¬campus van TNO in Delft. Deze experimentele EUV faciliteit, uniek in haar mogelijkheid om stralingsgeïnduceerde effecten op optiek en reticles te bestuderen in een gecontroleerde vacuümomgeving, maakt gebruik van Ushio’s high intensity Sn LDP (Laser assisted Discharge produced Plasma) EUV lichtbron. Dit pulsgestuurde systeem bootst de omstandigheden van lithografiescanners nauwkeurig na en maakt daarmee zeer realistische en reproduceerbare testen mogelijk.

De langetermijnsamenwerking werd eind 2023 verder versterkt toen beide organisaties een meerjarige overeenkomst formaliseerden die gericht is op het verbeteren van de onderhoudseffectiviteit en het vergroten van de betrouwbaarheid en voorspelbaarheid van de EUV lichtbron, een belangrijke basis voor het leveren van consistente prestaties aan TNO’s wereldwijde klanten. Als onderdeel van de voortdurende innovatie inspanningen binnen het partnerschap hebben TNO en Ushio recent met succes een verhoogde bronfrequentie getest. Dit opent nieuwe onderzoeksmogelijkheden voor EBL2 en ondersteunt activiteiten gericht op de ontwikkeling van next generation EUV technologie.

Rob Willekers, Director of Operations bij TNO High Tech Industry: “Deze langetermijnsamenwerking vormt een sterke basis voor het continu verder ontwikkelen van onze onderzoeks¬capaciteiten. Onze productieve samenwerking met Ushio ondersteunt onze missie om klanten en partners te bedienen met toonaangevende EUV expertise en draagt bij aan onze ambitie om een leidende rol te spelen in de ontwikkeling van next generation EUV bronnen.”

Yoshihiko Sato, Executive Officer, Leader of the EUV project, Corporate Technology Division bij Ushio Inc.: “Ushio voelt zich vereerd om het solide partnerschap met TNO verder te versterken. Naast het EBL2 project komt onze inzet voor de verdere ontwikkeling van de EUV markt tot uiting in voortdurende innovatie en verbetering. Wij blijven ons inzetten voor het verbeteren van de prestaties en betrouwbaarheid van onze lichtbronnen en zullen verdere doorbraken in EUV technologie blijven ondersteunen.”