Semicon equipment and metrology

Thema:
Semicon en quantum
2 juli 2024

De productie van halfgeleiderchips vindt met extreme precisie op nanometerschaal plaats. Om een consistente kwaliteit te garanderen en contaminatie tijdens de productie te beperken, zijn er meetoplossingen nodig die elke stap in het proces nauwkeurig kunnen meten. TNO Semicon equipment and metrology levert nieuwe c.q. verbeterde metrologie-oplossingen voor het gehele ecosysteem van halfgeleiders en aanverwante sectoren.

Hoogwaardige chips voor iedereen

Onze digitale wereld zou niet bestaan zonder halfgeleiderchips en -apparatuur. En terwijl die chips en apparatuur kleiner worden en hun capaciteit en rekenkracht groter worden, neemt de behoefte aan precisie, nauwkeurigheid en contaminatievrije productie toe. TNO werkt samen met stakeholders uit de gehele waardeketen om met geavanceerde metrologie-oplossingen de kwaliteit en nauwkeurigheid van chipontwikkeling te waarborgen. We werken onder andere samen met chipfabrikanten en valideren en demonstreren concepten voor metrologie-apparatuur voor andere hightech sectoren, bijvoorbeeld op de terreinen van ruimtevaart, kernenergie en quantumtechnologie.

De productie van chips vindt plaats op de grens van wat technologisch mogelijk is. Om die productie verder te optimaliseren is een multidisciplinaire aanpak nodig. Om continue vooruitgang in halfgeleidertechnologie mogelijk te maken, bieden onze experts:

  • apparaatprocesbeheer
  • metrologie-oplossingen
  • nieuwe c.q. verbeterde componenten en apparatuur
  • experimentele opstellingen (in het laboratorium maar ook in industriële omgevingen)

Onze unieke expertise als het gaat om ultraschone vacuümtechnologie, AFM-metrologie (Atomic Force Microscopy), computationele fysica, plasmafysica, warmte-, massa- en stromingsoverdracht, deeltjescontaminatie, levensduur, state-of-the-art opstellingen en systeemengineering stelt ons in staat om de meest effectieve oplossingen te bieden voor de grote uitdagingen die de sector kent.

Front-end optimalisatie

TNO werkt al meer dan 25 jaar samen met ASML en leveranciers van ASML om lithografieapparatuur te optimaliseren en optimale prestaties te waarborgen. Omdat bedrijven steeds zoeken naar manieren om complexere chips te maken, sneller en nauwkeuriger dan ooit, onderzoekt TNO Semicon equipment and metrology op welke manier oudere machines kunnen worden aangepast óf ontwikkelt ze nieuwe componenten voor deze aanpassing. Samen met ASML en leveranciers van ASML werken we aan de ontwikkeling van metrologiesystemen die aansluiten bij de huidige behoeften. Hierbij richten we ons vooral op het voorkomen van contaminatie en het waarborgen van precisieproductie.

Back-end versnelling

Nadat het patroon van een wafer is ontworpen, voeren halfgeleiderfabrikanten hun eigen unieke productieproces uit: snijden, stapelen, onderling verbinden, verpakken en meer. Ook hier zijn precisie en het voorkomen van contaminatie van het grootste belang. We onderzoeken, ontwikkelen en helpen bij het realiseren van oplossingen die ervoor zorgen dat elke chip met de gewenste nauwkeurigheid wordt gefabriceerd onder contaminatievrije omstandigheden, in het tempo en in de hoeveelheden die de industrie nodig heeft.

Chipfabrikanten, leveranciers van apparatuur en componenten en andere hightechbedrijven in de waardeketen van halfgeleiders vertrouwen op ons als het gaat om oplossingen voor soms uitermate complexe productieproblemen. Ons multidisciplinaire team staat altijd klaar om ook uw probleem op te lossen. Wilt u weten hoe u uw productieproces kunt verbeteren of kunt fine-tunen met behulp van contaminatiecontrole en/of precisiemetrologie? Neem dan vandaag nog contact met ons op.

Warmtefluxprofiler

In een lithografiemachine is het meten en regelen van warmte en warmteflux essentieel. Tegelijk vormt dit ook een grote uitdaging. TNO Semicon equipment and metrology ontwikkelt sensortechnologie om met speciale ASML-apparatuur in onze eigen laboratoria de warmteflux te bepalen. Daarnaast ontwerpen we oplossingen om apparatuur of componenten voortdurend te verbeteren, met als doel een betere beheersing van de warmteflux.

Atoomkrachtmicroscopen

De nanofysici van TNO maken gebruik van atoomkrachtmicroscopen en infrarood-atoomkrachtmicroscopen om de oppervlaktestructuren van chips te meten op bijna-atomair niveau. Op basis van die metingen kunnen we de kwaliteit van wafers op een uiterst geavanceerde manier verbeteren, zodat we aansluiten bij de toenemende behoefte aan nog complexere en krachtigere chips die in een nog hoger tempo worden geproduceerd.

Laat je verder inspireren

19 resultaten, getoond 1 t/m 5

Optics

Informatietype:
Artikel
11 juli 2024
TNO Optics ontwerpt, optimaliseert en miniaturiseert optische instrumenten voor maatschappelijke toepassing in sensoren, satellieten, de halfgeleiderindustrie en medische apparatuur.

Semicon equipment lifetime

Informatietype:
Artikel
5 juni 2024

TNO intensiveert samenwerking Zuid-Korea en Japan Smart Cities, Smart & Sustainable Mobility en Semicon

Informatietype:
Insight
3 juni 2024

Een partnerschap om de EUV-droom te verwezenlijken

Informatietype:
Insight
22 december 2023

Samenwerking TNO en Airbus voor ontwikkeling van een grondstation voor uitwisseling quantumsleutels in de ruimte

Informatietype:
Nieuws
15 november 2023