Semiconductor Equipment: innovaties voor machines voor halfgeleiders

De uitdagingen oppakken

Apparatuurfabrikanten streven continu naar verbetering van de chipproductie. Omdat chips steeds kleiner worden, nemen de uitdagingen op vier gebieden toe:

• Vervuilingsbeheersing
• Positionering en stabiliteitscontrole
• Material interface control
• Lithografische patroonvorming

Ruim een vijfde van alle halfgeleiderapparatuur wordt in Nederland geproduceerd. TNO verkeert daarom in een unieke positie om de (internationale) markt te ondersteunen en de huidige en toekomstige uitdagingen op productievlak aan te gaan.

Concrete oplossingen

TNO beschikt over de ervaring en expertise om concrete oplossingen te bieden. Wij zijn de O&O-partner waar fabrikanten zich tot wenden als een oplossing buiten bereik lijkt. We helpen bedrijven bij het ontwikkelen van apparatuur waarmee betere en schonere chips kunnen worden gemaakt. We gaan samenwerkingsverbanden aan om de apparatuur waar bedrijven om vragen snel en efficiënt te kunnen produceren.

Interne expertise

Al ruim 15 jaar speelt TNO een vooraanstaande rol bij het ontwikkelen van grensverleggende nanotechnologieën. Onze 120 toegewijde onderzoekers ontwikkelen apparatuur die de wet van Moore kan bijhouden en aan de vraag van consumenten kan blijven voldoen. Onze omvangrijke portefeuille en talloze patenten bewijzen dat we toonaangevend zijn in de ontwikkeling van zeer geavanceerde halfgeleiderapparatuur.

Vervuilingsbeheersing

Het International Centre for Contamination Control (ICCC) van TNO is de industrienorm voor het hoogste niveau van vervuilingsbeheersingstechniek. Apparatuurfabrikanten schakelen ons in voor al hun vervuilingsbeheersingsvragen. Zo hebben ze geen in-house deskundigheid nodig en maken ze geen extra kosten voor het uitvoeren van onafhankelijke controles.

Blik op de toekomst

Om innoverend te zijn op het gebied van nanotechnologie moet verder worden gekeken dan naar de behoeften van vandaag en morgen. Of het nu gaat over grote beeldschermen, quantumtechnologie of 3D-productie op atomaire schaal, TNO onderzoekt de mogelijkheden voor in de toekomst - en welke apparatuur nodig is. Via prototype platforms en pre-competitieve samenwerkingsverbanden bereidt TNO apparatuurfabrikanten voor op de toekomst.

Productieve partnerschappen

Dankzij onze partnerschappen met partijen als MAPPER, ASML, Applied Materials en Carl Zeiss blijven we op technologisch gebied voorop lopen en kunnen we alle productie-uitdagingen aan.

Ook werken wij samen met academici om de toekomstige mogelijkheden te verkennen. Dankzij effectieve samenwerking met partners komen innovaties snel tot stand en worden de risico's, kosten en voordelen van onze ontdekkingen gedeeld. En daaruit kunnen dan weer spin-off-projecten en joint ventures ontstaan.

Meer informatie

Bent u een apparatuurfabrikant en bent u op zoek naar een concrete oplossing voor een probleem? Of bent u geïnteresseerd in het verkennen van mogelijkheden voor andere industrieën en toepassingen? Informeer bij Rogier Verberk hoe TNO u kan helpen.